離子注入機“跑步”國產化

　　本報訊（融媒體中心記者 方針）穿上防塵服，戴上口罩、手套，通過風淋系統，記者8月6日上午獲准進入電科裝備旗下的爍科中科信公司離子注入機組裝廠房，現場感受在模塊、模組、整機三級製造全新模式下的集成電路裝備產業化速度。爍科中科信公司技術總監張叢告訴記者，上半年，中束流離子注入機實現批量銷售，大束流離子注入機實現多台銷售並具備產業化條件，預計全年出貨量有望實現翻番。

　　什麼是離子注入機？爍科中科信快速產業化的密碼又是什麼呢？

　　離子注入機是將特定種類離子以指定參數注入至特定材料中的一種設備，執行的是核心的摻雜工藝。半導體要做成器件，要改變電性能，必須摻入雜質，離子注入機就是執行摻雜工藝的標準設備。“每一個器件生產過程中，需要進行很多次離子注入，注入到器件不同的位置，注入的次數對於不同器件類型和工藝節點有差異，例如對於28nm邏輯器件，注入次數約為40次。”張叢介紹。

　　“作為一種集成電路高端裝備，它的生產組裝過程自然是極為苛刻的，生產過程中精細、精準是基本要求。”一位正在進行模塊性能測試的研發人員告訴記者。實際上，為保障生產過程的標準化，實現產業化轉變，爍科中科信公司制定了所有模塊模組標準作業指導書，建立了關鍵模塊的過程控制卡，規範了設備佈線布管及管線檢查，給出了所有模塊功能檢測的標準和方法，統一了裝配標準和檢驗標準，保證了機台裝配的完整性及準確性。

　　研發團隊還參照國際主流半導體設備廠家經驗，建立模塊、模組、整機三級製造模式，開發了主要模塊和模組檢測平台，搭建了完善的離子注入機工藝測試平台，實現三級製造模式下全程質量控制，整體生產運營效率大幅提升。

　　不僅追求產品質量，還跑出產業化“加速度”。爍科中科信重新修訂了科研生產任務計劃管理制度，科學制訂每個項目的研發生產計劃節點。通過倒排工作計劃，專人跟進，實施日晨會、周調度、月總結，建立項目制的配料方案，及時更新物料狀態，每天定時更新項目模塊模組物料的到貨狀態，安排配料小組準時配料到物料緩存區，在節約人力的同時保證生產計劃的高效實施，保證了研發設計、物料採購、生產進度和客户交期嚴格可控。

　　經過十餘年發展，爍科中科信緊跟市場需求步伐，逐步形成了具備集成電路全產業鏈覆蓋能力的產品佈局。其中，中束流離子注入機已經在12英寸和8英寸產線量產或demo驗證超過數十台套，其工藝穩定性獲得業內客户高度認可。大束流離子注入機已實現多台銷售，正在陸續進入客户端。高能離子注入機首批兩台設備預計於2021年一季度進入客户端。公司負責人介紹説，為提升響應速度，公司還組建了50人售後服務隊伍，分佈在北京、上海、武漢、無錫、合肥、重慶、長沙和西安等城市，全面對接客户需求，提供高品質高效率的產品服務。

　　集成電路裝備是國之重器，張叢説，爍科中科信將繼續着力提高關鍵核心技術創新能力，在集成電路大產線、三代半導體產線以及材料製備領域集中發力，大力推進離子注入機產業化進程，同時，瞄準高端，緊跟先進工藝發展，開展適用於更先進工藝節點的離子注入機的研發工作。