在芯片製造領域,不得不提到的一台設備即光刻機,光刻機雖然不是印鈔機,但其卻比印鈔機還金貴,而説到光刻機,繞不過去的就是荷蘭的ASML公司。
光刻機涉及到最關鍵的一點因素就是光源技術以及鏡頭技術,正因為這樣,憑藉着在相機時代積累的技術,日本的尼康和佳能在八九十年代牢牢佔據的光刻機的市場,猶如今天的ASML一樣,如果沒有意外出現,那麼尼康和佳能將依然是光刻機的霸主。
日本半導體的衰落,始於157nm光源幹刻法與193nm光源濕刻法的技術之爭,當時台積電的一個工程師,名字叫做林本堅,提出了一個叫做“沉浸式光刻”方案,即在透鏡和硅片之間加一層水,原有的193nm激光經過折射,不就直接越過了157nm的天塹,降低到132nm了嗎?
不過林本堅跑遍當時的主要半導體巨頭,遊説巨頭們嘗試他這個設想,但都吃了閉門羹。尼康這些等日本巨頭認為,這個方案實現上存在巨大的困難,而且一旦投入這個方案研究,甚至可能耽誤影響自己在光源幹刻領域的優勢地位,所以沒有進行投入進行新研究,而選擇按部就班。
此時的ASML(中文譯名阿斯麥)只不過是飛利浦旗下的一家合資小公司而已,在半導體行業沒有任何優勢,如果逐步發展的話,那隻能永遠落後於尼康這些巨頭,所以在林本堅即將放棄的情況下,ASML決定賭一把,押注浸潤式技術,或許有可能以小博大,當然失敗了也無非就這樣。
最終證明ASML是正確,在2004年第一台光源濕刻樣機出來之後,順利拿到了IBM和台積電等大客户的訂單,此時的尼康才反應過來,一步落後步步落後。
光刻機的研發涉及系統集成、精密光學、精密運動、精密物料傳輸、高精度微環境控制等多項先進技術,難度之大,單靠荷蘭一國的實力,根本不可能推出ASML這個巨無霸(我國的上海微電子在2007年就交付了90nm的光刻機了,但是28nm的光刻機至今無法繳納就是因為配套的產業沒有跟上);荷蘭的ASML除了選對研究方向以及自身研發投入之外,之所以最終能成功,最關鍵的原因是得到了美國的全力支持。
在1997年的時候美國組建了一個EUV LLC的聯盟,聯盟內包括了英特爾、摩托羅拉、AMD、IBM以及美國能源部下屬三大國家實驗室,不過由於美國本土的光刻機企業早期被尼康完全打敗,當時聯盟內缺少一家光刻機研發的企業,此時歐洲的ASML就進入了美國的眼中;當然ASML要想得到美國的技術支持,是在答應簽訂“屈辱”條約之後才實現的,具體的包括:在美國建立一所工廠和一個研發中心,以此滿足所有美國本土的產能需求,同時還保證55%以上的零部件從美國供應商處採購,並接受定期審查。這就是為什麼美國能禁止荷蘭的光刻機出口中國。
所以表面上看ASML是一家荷蘭公司,但實際上歐盟和美國結合物,它之所以能夠一舉打敗日本光刻機巨頭,可以説整個西方社會都在為ASML做支持。比如,德國向ASML提供鏡頭支持,美國為ASML提供光源的支持以及計量設備的支持;瑞典為ASML提供軸承支持,法國則提供閥件支持等等,而在我國所有的零部件都要自主研究,這就是為什麼我們的進度慢的原因。
截止目前,ASML公司對外發布的數據顯示,其最大股東為資本國際集團(MSCI),該企業總部位於紐約,一家徹徹底底的美國企業。第二大股東為貝萊德集團(BlackRock, Inc.),也是一家美國企業;也就是説,ASML的兩大股東都是美國資本。
此外ASML為了實現壟斷,穩定的客户市場,還採用了“利益捆綁”的合作模式。2012年,英特爾連同三星和台積電,三家企業共計投資52.29億歐元,先後入股阿斯麥,以此獲得優先供貨權,結成緊密的利益共同體。而英特爾也是美國企業,所以可以説美國牢牢把握着ASML,所以與其説它是一家荷蘭企業,還不如説是一家總部在荷蘭的美國企業。