晶片製造關鍵裝置再突破！離子注入機實現全譜系產品國產化釋出於: 科技2021-03-17標籤: 解決方案中國電子科技集團有限公司注入機晶片中國電子科技集團有限公司17日對外公佈，該集團旗下裝備子集團攻克系列“卡脖子”技術，已成功實現離子注入機全譜系產品國產化，包括中束流、大束流、高能、特種應用及第三代半導體等離子注入機，工藝段覆蓋至28
