中微半導體裝置生產研發基地開工，年產200腔體MOCVD裝置釋出於: 科技2020-08-12標籤: 半導體半導體產業自主智慧財產權腔體 8月5日上午，南昌高新區舉行2020年重大重點專案集中開工儀式，以中微半導體裝置生產研發基地為代表的27個專案集中開工。 南昌中微半導體裝置有限公司於2017年12月成立，是中微半導體裝置（上海）股