国内能生产光刻机吗？答案是当然可以生产光刻机了，而且国产光刻机的发展史比全球最先进的光刻机厂商ASML还要早20余年，然而国产光刻机和全球顶尖光刻机还有很大的差距。在半导体漫长的发展史中，光刻机始终是最耀眼的明珠，从某种程度上来说，它代表了人类科技发展的顶级水平之一，没有光刻机就生产不了芯片，光刻机是芯片制造中必不可少的非常精密的设备。
近两年美国对华为的限制一步步升级，美国发布公告全面限制华为购买采用美国软件和技术生产的半导体，包括那些处于美国以外，被列为美国商务管制清单中的生产设备，要为华为和海思生产代工前，都需要获得美国的许可证。
华为最担心的还是来了，这次美国对华为的全面封锁，不单单是对华为的制裁，而是对中国芯片供应链的限制。众所周知，华为的芯片设计能力处于世界前列，但是却没有生产芯片的能力，国产光刻机由于发展缓慢，还有荷兰光刻机被美国限制出售给中芯国际，从而国产芯片制造业被美国掐住了脖子。
国产光刻机发展史可以说是很漫长了，在70年代国产光刻机的研究上取得了很大的进步，据相关资料记载，当时中国半导体产业虽然没有超越当时世界最先水平，但是也没有太大的差距，但是到了80年代，一大批企业纷纷开始采取“造不如买”的政策，盲目对外开放，没有了顶层设计，中国光刻机发展可以说是最缓慢的年代，渐渐的和世界先进光刻机拉开了较大的距离。
目前国产生产光刻机的厂家有上海微电子装备、合肥芯硕半导体、京先腾光电科技、无锡影速半导体科技等。然而其中规模最大、技术最先进的就是上海微电子装备有限公司了，可以生产90nm工艺技术的光刻机。
面对美国对国产光刻机技术的长期封锁，国内依然生产出了90nm高端光刻机，这意味着国内半导体产业又向前跨出了关键的一大步，国内现在正在攻克14nm光刻机技术，相信在不久的将来国产光刻机能够达到世界顶级水平。