作為製造芯片的核心器件，光刻機自然是重中之重，而一款性能出眾的光刻機也是製造高性能芯片的必要條件，而在光刻機領域尤其是高端光刻機，目前基本上被ASML所壟斷，而ASML也提供給包括英特爾、台積電以及三星等晶圓代工廠提供最新的EUV光刻機。目前隨着技術的進步，越來越多的晶圓代工廠商開始研發和量產5nm工藝，如今ASML宣佈將會採用全新的技術，從而讓5nm晶圓的產品成倍提升。
今天ASML宣佈正式發佈第一代HMI多光束檢測機HMI eScan1000，這個檢測機可以適用於5nm及更先進工藝，使得產能大漲600%。根據ASML的介紹，HMI eScan1000實際上是一套能夠驗證先進工藝生產出來的晶圓質量的系統，它的作用就是檢測製造出來的晶圓能夠符合要求和預期。
全新的多光束檢測機HMI eScan1000能夠同時生產和控制九道電子束，檢測性能提升了600%，因此晶圓的製造能力也得到了極大的提升，此外HMI eScan1000不單單能夠檢測5nm工藝的產品，同時也能夠為今後的更先進的工藝做準備，而現在這款產品也得到了客户的認可，目前已經在陸續測試。