數字化工廠、航空發動機、巨無霸機牀……面對疫情，來自全球各地的智能裝備不遠萬里，紛紛在進博會舞台“秀肌肉”。但有一家自帶光環，業內無人不知、無人不曉的全球光刻機巨頭也來參會，引發不少觀眾疑惑：他們的產品根本不愁賣，為何還要來參會？
觀眾所説的，就是全球高端光刻機制造商——荷蘭阿斯麥（ASML）公司。
説起ASML的名頭，在芯片領域可謂大名鼎鼎，其光刻機在全球都是搶手貨，有時想買還不一定買得到。光刻機之於芯片如同金工車間中的車牀，在整個芯片製造流程中，幾乎每個工藝的實施都離不開光刻技術，直接決定着一個國家的芯片製造水平。
在芯片製造中，光刻機發出的光通過具有圖形的光罩對塗有光刻膠的薄片曝光，光刻膠見光後會發生性質變化，使光罩上的圖形複印到薄片上，從而使薄片具有電子線路圖的作用。這次ASML曬出的是其主力機型DUV（深紫外線）光刻機，大屏幕上滾動播放着DUV光刻機的工作原理。“目前這一設備佔據全球市場80%的份額，可以生產7納米及以上製程芯片。”ASML中國區客户經理吳亮説。有觀眾在現場疑惑，受美國的禁令，ASML不是已不向中國出售光刻機了嗎？吳亮笑着説，那是誤解，中國一直是ASML DUV（深紫外線）光刻機的最大市場，今年二、三季度中國大陸出貨量佔到了全球出貨量的20%，達到上百台。
展台的另一側，ASML還展示了其整體光刻解決方案，包括先進控制能力的光刻機台計算光刻和測量通過建模、仿真、分析等技術，讓邊緣定位精度不斷提高。“這些整體光刻解決方案可以為芯片生產的良率和產能提供全方位保駕護航。”吳亮説。
雖然DUV（深紫外線）光刻機已經很吸睛了，但更多人關心的是ASML的王牌產品EUV（極紫外線）光刻機。這是目前全球最頂尖的光刻機，能夠製造7納米及以下的芯片。目前華為Mate 40手機搭載的麒麟9000芯片採用的台積電5納米光刻工藝，正是基於ASML的EUV光刻機。
媒體此前一直有報道，早在兩年前，中芯國際就向ASML訂購了一台EUV光刻機，但受美國禁令影響，荷蘭方面一直未能放行。交談中，展台工作人員直言，公司所有行為都要遵循當地的法律法規。記者從中也聽出一份無奈，夾在其中的企業其實也很難，一不小心可能就被推到風口。
雖然受到一些因素干擾，但ASML依然熱情參展進博會，無疑傳遞出對中國市場的態度。
ASML方面表示，這次參加進博會其實不為訂單，還是希望表達公司對對外開放、攜手創新的支持。自30年前進入中國市場以來，ASML已提供了全面的技術和能力來滿足中國客户的需求，在全國12座城市設有辦公室，在北京、深圳建立技術中心，本土工程師已經超過1000名。據統計，目前ASML在中國大陸地區大大小小裝機量已超過700台。
阿斯麥全球副總裁、中國區總裁沈波也表示，最近幾年國家對於集成電路產業投入大，行業熱情高，整個市場增長迅速。“對我們來説，會支持全球的集成電路產業，包括我們中國芯片產業的發展，這是非常堅定的理念。”沈波説，不管是國外的客户還是中國客户，在企業能力範圍內，在法律法規主體的框架下，都會全力支持。
欄目主編：劉錕 文字編輯：劉錕
來源：作者：劉錕